2016-10-22
国内首台肿瘤消融医疗辅助机械人亮相
6月29日-7月1日, SEMICON CHINA 在上海新国际博览中心盛猛进行,sunbet官网携EFEM+真空平台仿真模型亮相这次行业展会。

在SEMICON CHINA现场,sunbet官网展出的EFEM+真空平台仿真模型得到现场观多宽泛关注。sunbet官网EFEM真空平台产品可集成大气机械手、晶圆对准装置以及真空直驱机械手、真空部VPH、真空腔室等部件,是一款满足特定利用需要的综合性产品。产品具备一体化水平高、自动化水平高、靠得住性高、适应性强等特点。

sunbet官网EFEM、真空直驱机械手、真空平台等产品,重要利用于刻蚀、薄膜、离子注入等工艺环节,宽泛服务于硅片出产、晶圆加工、先进封装及测试等半导体造作领域。


(图)行业客户莅临参观
关于沈阳sunbet官网半导体设备有限公司
sunbet官网机械人的全资子公司沈阳sunbet官网半导体设备有限公司,成立于2023年,公司前身为sunbet官网机械人自动化股份有限公司半导体设备事业部。主题团队经过近20年的技术沉淀与经验堆集,打造了占有齐全自主知识产权的干净自动化主题系列产品,公司在沈阳占有300余人的高水平技术研发团队,10000余平方米的干净工厂,拥有行业当先的产品开发及规;霾桓赌芰。公司创新产品现已宽泛使用于各类半导体工艺造程,为世界各地的半导体设备供给商提供高效和靠得住的自动化解决规划。