丈量导体电阻率的要领是通过一对引线强制电流流过样品,,,,,,用另一对引线丈量其电压降来决议已知几何尺寸的样品的电阻。。。。。
虽然,,,,,,丈量电阻率使用的详细要领决议于样品的巨细和形状,,,,,,可是所有的要领都需要使用迅速的电压表和电流源或微欧姆计来举行丈量,,,,,,由于要丈量的电阻一样平常都很是小。。。。。
要领一:四探针法(整块质料)
图1示出测试整块质料,,,,,,如金属棒或金属条电阻率的系统,,,,,,将电流源连到样品的两头,,,,,,电压表的引线则按已知的距离安排。。。。。
凭证样品的横截面积和电压表引线之间的距离盘算出电阻率:其中,,,,,, ρ=以厘米-欧姆为单位的电阻率;;;;;;;V=电压表丈量的电压;;;;;;;I=电流源电流;;;;;;;A=以厘米2为单位的样品的横截面积(w×t) ;;;;;;;L=以厘米为单位的电压表引线之间的距离。。。。。

为了赔偿热电动势的影响,,,,,,在正向测试电流之下获得一个电压读数,,,,,,再在负向测试电流之下获得另一个电压读数,,,,,,将这两个电压读数的绝对值举行平均,,,,,,并将其用在公式的VI中,,,,,,大大都质料都具有很大的温度系数,,,,,,以是一定要将样品坚持在已知的温度之下举行测试。。。。。
要领二:四探针法(薄片质料)
四探针法用在很是薄的样品,,,,,,例如晶圆片和导电涂层上。。。。。图2是四点铜线探针用于电阻率丈量的设置图。。。。。电流从两个外部的探针加入,,,,,,而电压降则在两个内部的探针之间丈量。。。。。外貌电阻率的盘算公式为:

其中:σ=以欧姆/□ 为单位的外貌电阻率,,,,,,V=电压表测得的电压,,,,,,I=电流源电流。。。。。

注重,,,,,,外貌电阻率的单位表达为欧姆,,,,,,以区别于丈量出的电阻(V/I)。。。。。关于极薄或极厚的样品,,,,,,可能需要使用修正因子对电阻率的盘算举行修正。。。。。
要领三:van der Pauw范德堡丈量法
虽然范德堡van der Pauw电阻率丈量法主要用于半导体工业,,,,,,可是也可用于其它一些应用事情,,,,,,例如:用来确定超导体或其它薄片质料的电阻率。。。。。
van der Pauw法用于扁平、厚度匀称、恣意形状,,,,,,而不含有任何隔离孔的样品质料。。。。。如图3所示,,,,,,接触点应当很小,,,,,,并且安顿在样品的外围。。。。。

围绕样品举行8次丈量。。。。。对这些读数举行数学组合来决议样品的平均电阻率。。。。。
图4示出使用van der Pauw法决议导电样品电阻率的完整系统。。。。。
该系统包括用来提供流过样品的电流的6220型电流源和用来丈量爆发电压降的2182A型纳伏表。。。。。由7168 型纳伏卡和7156型通用卡组成的开关矩阵在四个样品端子上切换电压表和电流源。。。。。
这些开关卡必需凭证图中所示举行毗连。。。。。从7168卡到样品的毗连必需使用不镀锡的铜线以便将热电动势降到最低。。。。。然后,,,,,,必需将这些从7168卡的毗连延伸到7156卡。。。。。7001型扫描器主机控制这些开关卡。。。。。

为了向端子3和4送入电流,,,,,,应当闭合通道7L和4H。。。。。而丈量端子 1和2之间的电压降则应当闭合通道15L和12H。。。。。 若是被测样品的电阻率规模很宽,,,,,,可以用7065型霍尔效应卡来取代7168和7156扫描器卡。。。。。
有关van der Pauw法的更进一步的信息可以在ASTM标准F76中找到。。。。。
本文两次提及四探针法,,,,,,足以说明其应用之广,,,,,,若您正在寻找一台精度高、重复性好、操作直观且售后完善四探针测试仪,,,,,,接待购置USDT钱包官网电子四探针测试仪!
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