一、概述：
SZT-5硅质料复合测试仪，，，，，，，是由二种硅质料测试仪器组合而成的。。。。。
1、二量程的电阻丈量仪器，，，，，，，配以手持式四针测试头或座式测试架，，，，，，，可用来丈量片状，，，，，，，柱状，，，，，，，或块状，，，，，，，电阻率
在0.01~200欧姆/厘规模内的半导体质料。。。。。通过对恒流源的调解，，，，，，，可以对某些丈量效果举行修整，，，，，，，例如对通俗硅质料的测试效果要乘以0.628的探险头修正系数，，，，，，，对硅质料薄层扩散和导电薄膜 “方块电阻“ 的修正系数为4.53等均可通过调正恒流电流加以处置惩罚。。。。。

2、整流法硅质料P-N极性判别仪，，，，，，，配有三针手持式探头，，，，，，，能对片状或块状电阻率在1000-0.01欧姆/厘米的。。。。。硅质料举行极性判别
本仪器事情情形条件为：
温　　度：18℃―25℃
相对湿度：50%－70%
事情室内应无强电场滋扰，，，，，，，不与高频装备共用电源。。。。。

二、手艺参数

1、丈量规模
(1)电阻率丈量：
电 阻 率 0.01-200Ω-cm
方块电阻 0.01-200Ω-口
电 阻 0.01-200.0Ω

2、数字电压表
(1)量 程: 200mV简单量程
(2)误 差: 读数 ±0.2%±3字
(3)输入电阻: >10MΩ

3、恒 流 源
(1)电流输出: 0~10mA一连可调
(2)量 程: 1mA, 10mA
(3)误 差: ±0.2%±3字,

4、手持式四探针测试头
(a)探 针 间 距:1mm
(b)探针机械游移率:±1.0%
(c)探 针 材 料:碳化钨,φ0.
(d)压力:最大 2Kg
(2)导电类型判别：
可对电阻率为1000-.0.01欧姆/厘米的硅质料作导电类型测定，，，，，，，同时可以声，，，，，，，光报警方法体现被测质料属于”重掺”。。。。。