
M-2型数字式电阻率测试仪是运用四探针丈量原理的多种用途综合丈量装置,,,,,,,,它可以丈量片状,,,,,,,,块状半导体质料的径向和轴向电阻率,,,,,,,,丈量扩散层的薄层电阻(也称方块电阻)。。。。;;;;;;;;簧咸刂频乃奶秸氩馐约芯,,,,,,,,还可以对金属导体的低,,,,,,,,中值电阻举行丈量。。。。。
仪器由主机,,,,,,,,测试探头(可选配测试台)等部分组成,,,,,,,,测试效果用数字表头直接显示。。。。。主机主要由数控恒流源,,,,,,,,高区分率ADC,,,,,,,,嵌入式单片机系统组成,,,,,,,,自动转换量程。。。。。测试探头接纳高耐磨碳化钨探针制成,,,,,,,,定位准确,,,,,,,,游移率较小,,,,,,,,寿命长。。。。。
仪器适用于半导体质料厂,,,,,,,,半导体器件厂,,,,,,,,科研单位,,,,,,,,高等院校对半导体质料的电阻性能的测试。。。。。特殊适用于要求快速丈量中低电阻率的场合.
本仪器事情条件为:
温度:
相对湿度: 60% ~ 70%
事情室内应无强电磁场滋扰,,,,,,,,不与高频装备共用电源
二、手艺参数
1. 丈量规模:
电阻率:10 -2? ~ 102Ω-cm
方块电阻:10 -1? ~ 103Ω/□
电阻:10 -3? ~ 9999Ω
2. 可测半导体质料尺寸
直径:15mm-100mm
长(或高)度:≤400mm
3. 丈量方位:
轴向,,,,,,,,径向均可
4. 数字电压表
量程:2V
误差: :± 0.1% FSB ± 2LSB
最大区分力:10μA
精度: 18位ADC ( 5 1/2 位)
显示:4位数字显示,,,,,,,,小数点自动显示
5. 数控恒流源
电流输出: 直流电流 2μA~ 2mA, 2μA步进可调,,,,,,,,系统自动调解。。。。。
误差:± 0.1% FSB ± 0.5LSB
6. 四探针测试探头:
探针间距: 1mm
探针机械游移率:± 1%
探针:碳化钨,,,,,,,,直径0.5mm
7.电源:
DC 4.5V ~8V
功耗: < 1W
电源适配器:输入: 220V±10% 50Hz
输出:DC5V ± 10%
8. 形状尺寸:
主机: 170mm (长) X 130mm (宽) X50mm(高)




